《MEMS技术应用于加速度传感器高频继电器》PDF+DOC
作者：章从福
单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版：《》
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PDF编号：PDFBDXX2005060320
DOC编号：DOCBDXX2005060329
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《基于MEMS传感器的人体运动捕捉系统》PDF+DOC2012年第01期 张海鹏,党幼云
《MEMS三轴加速度传感器的量产用校准设备》PDF+DOC2011年第10期 肖涛
《基于MEMS加速度的三维无线鼠标设计与实现》PDF+DOC2011年第08期 陈建新,卜翔,王荣,刘杰,章韵,金仙力
《基于MEMS器件的倾角指示系统研究》PDF+DOC2010年第06期 蒋海涛,冯文光,刘诗斌
《基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统》PDF+DOC2009年第S1期 李朋勃,苏维嘉
《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波
《单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析》PDF+DOC2012年第09期 石云波,赵锐,唐军,刘俊,李科杰
《MEMS传感器开创汽车主动安全系统的新时代》PDF+DOC2008年第02期 周智勇
《基于MEMS传感器惯性测量单元设计与实现》PDF+DOC2013年第08期 张瑛,薛梅,王阳,成谢锋
据《今日电子》2005年第11期报导，松下电工控制机器事业部推出了采用 MEMS技术的三款产品，分别是超小型MEMS高频继电器、面向车载用途的单轴加速度传感器、适用于小型数字设备的三轴加速度传感器。 MEMS继电器ME-X融合了MEMS和机械继电器技术，采用精密活动结构和磁回路，大小仅为4.00 mm×；2.5 mm×；1.3 mm，同时具有低接触阻抗、接点间高绝缘性、可在高频且宽频带下使用的机械式继电器的优点和小型、高效率、可高速开闭的半导体继电器的优点。继电器在6 GHz时的电阻为50 Ω，插入
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