《一种电容式加速度传感器设计的研究》PDF+DOC
作者:温淑慧
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2005年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2005020300
DOC编号:DOCCGJS2005020309
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《一种变面积型差动电容加速度传感器的设计》PDF+DOC2011年第03期 李恒灿,李勇
《差动输出型力平衡加速度传感器设计与噪声测试》PDF+DOC2014年第Z1期 李彩华,李小军,滕云田
《微机械差动电容压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第12期 牛德芳,庞济,沈月婷,仲崇权,殷福亮
《微机械电容式加速度传感器信号电路设计》PDF+DOC2005年第07期 李敏毅,王蕊
《智能化差动电容角位移传感器的研究》PDF+DOC2003年第09期 张涛,钟秀贤,李敏雪,徐英
《微机械电容式压力传感器的变换电路》PDF+DOC2001年第03期 沈月婷,牛德芳,仲崇权
《一种电容式加速度传感器的温度补偿电路》PDF+DOC2010年第05期 李慧武,刘文怡,马喜宏
《新型电容式靶式流量计的设计》PDF+DOC2010年第01期 沈培璐,蒋庆,陈翠武
《静电计检测微位移的原理和实验》PDF+DOC2008年第02期 陆德仁,鲍海飞,刘民
设计了一种惯性式测振传感器,建立了差动电容式加速度传感器的数学模型,并对其作了特性分析,由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程。本设计具有电路结构简单,频率范围宽约为0~450HZ,线性度小于1%,灵敏度高,输出稳定,测量误差小等优点,并且通过实验验证了各项性能指标满足设计要求。
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