《带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器》PDF+DOC
作者:程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》2005年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX20050300N0
DOC编号:DOCBDTX20050300N9
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研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能。
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