作者：董林玺,车录锋,王跃林 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2005年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2005020290 DOC编号：DOCBDTX2005020299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ，对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ，当电容极板间的倾斜角由 0 1&#176；变到 0 5&#176；时 ，单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容极板完全平行时的 0 4 5 ，0 5 6 .对力平衡的双边梳齿电容结构 ，当倾斜角由 0 1&#176；变到 0 15&#176；时 ，可靠工作范围分别变为原来的 0 92 5 .并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理 ，讨论了改进方法 。

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