作者：张凤田,唐祯安,余隽,金仁成,高仁璟,江胜峰 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2005年第07期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2005070230 DOC编号：DOCBDTX2005070239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC2004年第06期 张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC2002年第S1期 黄正兴,唐祯安,申爽,陈正豪 《基于BMP085的一种便携式海拔高度测量系统设计》PDF+DOC2011年第12期 王俊彩,王福平,侯瑞峰,王成 《海洋环境自动观测系统气压现场校准方法及不确定度评定》PDF+DOC 苏继琨,林雪丽,张涛,高昆,孙蕾,谷贝,辛阿阿 《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 刘红雨,李姗泽,王颖麟,李俊 《气温与风速对气压传感器现场校准的影响》PDF+DOC2016年第04期 张天华,吴非洋,胡春泉,郑亮 《新型气压计模块MS5534的原理及应用》PDF+DOC2006年第11期 王伟 《无线无源声表面波气压传感器》PDF+DOC2005年第06期 江城,杨军锋,王学德 《基于单片机的气压式高度计设计》PDF+DOC 孟洪兵,陈熙源 《PTB330型气压传感器适用于ZQZ-CII型自动站的参数设置方法》PDF+DOC2014年第02期 杨崇静,郭海涛,马传成

    • 研制了一种采用CMOS工艺和表面牺牲层技术加工的微热板式低气压传感器.该微热板为四臂支撑悬空矩形板，其边长为75μm，支撑桥长为60μm，板下气隙高度为0.5μm.采用经典傅里叶传热理论分析了恒电流工作方式下气压对微热板瞬态和稳态热特性的影响，结果表明在低气压范围内微热板传热以支撑桥导热为主，气压较高时以气体导热为主，微热板加热功率随气压增加而减小；传感器的热响应时间为毫秒量级并随气压增加而减小.传感器采用恒电流工作方式时，测得其气压响应范围为1～105Pa，且加热功率与气压间关系的理论分析结果与实测值吻合得较好。

    📙 相关资料

    1. 《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC 给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响，并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系；用有限元方法模......
    2. 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC 微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点 ，是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定 ，介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响...
    3. 《基于BMP085的一种便携式海拔高度测量系统设计》PDF+DOC 介绍了一种基于BMP085数字气压传感器的气压高度计系统。利用海拔高度和气压、温度的关系，通过C8051F310微控制器读取传感器中压力值、温度值以及补偿参数，用软件进行测试中的温度补偿和海拔高度计算，并在此基础上对气压值进行噪声处理，在OLED上显示当前温度、气压、海拔高度和相对高度。整个系统集微......
    4. 《海洋环境自动观测系统气压现场校准方法及不确定度评定》PDF+DOC 文章依据JJG(海洋)01-1994《海洋资料浮标传感器检定规程》[1]、JJG860-1994《压力传感器(静态)检定规程》以及2013年8月13日最新实施的JJG1084-2013《数字式气压计检定规程》，结合海洋环境监测站和海洋资料浮标的海洋环境自动观测系统设备现场校准工作，研究总结了应用0.......
    5. 《基于LTCC技术的无源气压传感器研制》PDF+DOC 介绍基于LTCC技术的无源气压传感器的基本原理和理论模型，主要制作工艺流程和关键工艺难点。研究了LTCC内埋型空腔的实现方法、牺牲层材料的选取和依据，并对无源气压传感器的理论模型进行仿真分析与实际测试。结果表明利用LTCC内置空腔技术研制的气压传感器测试结果与仿真分析吻合较好，谐振频率随外界压力的增......
    6. 《气温与风速对气压传感器现场校准的影响》PDF+DOC 为确保各要素观测数据的准确、可靠并具有可比性，须定期开展自动气象站校准。自动气象站现场校准不同于实验室的检定检测，受客观条件的影响，校准结果具有明显的不确定性，气压要素表现尤为明显。为了保证量值传递准确可靠，减小这种不确定性对校准结果造成的误判，对气压现场校准提出了改进方法。基于2012—2014年......
    7. 《新型气压计模块MS5534的原理及应用》PDF+DOC MS5534是瑞士Intersema公司推出的一款集成有压阻式压力传感器和ADC接口的SMD混合集成电路，可广泛应用于便携式高度计、气压计、气象控制系统、多模式手表和GPS接收机等设备。文中介绍了MS5534的性能特点、引脚功能、内部结构、工作原理和典型应用。...
    8. 《无线无源声表面波气压传感器》PDF+DOC 阐述了声表面波气压传感器的设计原理、结构及相应的遥测系统和数据采样处理系统。应用正交相位检测法，将几纳秒的时间差测量转化成较大的相位测量。采用回波幅值触发采样，有效提高采样及数据处理效率。设计的SAW气压传感器理论灵敏度可达0.7kPa，测量范围在为10～350kPa。...
    9. 《基于单片机的气压式高度计设计》PDF+DOC 采用集成度高的压阻式硅气压传感器，运用模块化设计方法完成了基于C8051F353单片机的数字式气压高度计的设计。通过仿真软件采用分段插值方法优化提高测量精度，实现了数字式气压高度计的智能化。实验表明，本文设计的气压式高度计能够显著提高测量精度，非常适合对体积和功耗有要求的小型飞行器上使用，也可使用在......
    10. 《PTB330型气压传感器适用于ZQZ-CII型自动站的参数设置方法》PDF+DOC 介绍了PTB330型气压传感器适用于ZQZ-CII型自动气象站的硬件连接方法，并以Windows XP操作系统下超级终端连接方式为例，介绍了PTB330型气压传感器与计算机串行通信的实现，通信参数、数据格式、响应延迟、特定显示命令等参数的设置方法。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。