《脉冲激光沉积技术制备的薄膜传感器的研究》PDF+DOC
作者:门洪,邹绍芳,王平,Andrey Legin,沈静琴,许祝安
单位:浙江大学
出版:《浙江大学学报(工学版)》2005年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDZC20050400U0
DOC编号:DOCZDZC20050400U9
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基于脉冲激光沉积(PLD)技术在光寻址电位传感器(LAPS)表面上制备了Fe Ge Sb Se硫系玻璃薄膜,合成的靶材成分为Fe1.2(Ge28Sb12Se60)98.8,在Si/SiO2 基质上的金属层为Cr/Au,硫系玻璃薄膜对Fe3+敏感,显示了良好的重复性和稳定性.在1×;10-5 ~1×;10-2 mol/L呈现线性,斜率为(56±;2) mV/decade,检测下限为5×;10-6mol/L,当浓度高于1×;10-4 mol/L时,响应时间不超过40 s;当低于此浓度时,响应时间不超过2 min。
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