作者:王碧波,岳金福,周泽兵,彭益武 单位:中国微米纳米技术学会;天津大学 出版:《Nanotechnology and Precision Engineering》2005年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFNMJM2005020100 DOC编号:DOCNMJM2005020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于电容传感器的精密压电微位移系统研究》PDF+DOC2018年第01期 李慧鹏,唐若祥,吕亚宁,孙业飞 《基于纳米定位的压电陶瓷执行器控制方法的研究进展》PDF+DOC2003年第02期 崔玉国,孙宝元,董维杰,杨志欣 《基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制》PDF+DOC2015年第01期 陈琦 《面向微操作的宏/微精密定位技术研究》PDF+DOC2005年第05期 陈立国,孙立宁,边信黔,荣伟彬 《相移干涉显微镜中移相误差分析》PDF+DOC1995年第04期 丁志华,王桂英,王之江 《温度对超精密微位移系统定位精度影响的研究》PDF+DOC2006年第10期 卢泽生,张强 《压电陶瓷微位移系统的变参数PID闭环控制方法》PDF+DOC2006年第02期 左勇,张月平,蒋芝兰,李慧贤 《基于压电驱动的纳米级精密定位系统的研究》PDF+DOC2002年第06期 曲东升,孙立宁,王建国,秦昌 《大范围小区域精密定位技术》PDF+DOC2011年第11期 张东灵,傅惠南,胡兵,库才高,徐宇 《纳米级超精密定位工作台的研究》PDF+DOC2011年第09期 张金龙,刘阳,郭怡倩,刘京南,内田敬久
  • 设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明,该系统定位精度优于1nm,可在0.5μm×0.5μm范围内实行任意二维纳米循迹定位.给出了半径为2.5nm的圆及外接圆半径约为5nm的五角星形的定位轨迹图.该系统基本满足高精度引力实验精确定位的需求。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。