作者：章从福 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2005050650 DOC编号：DOCBDXX2005050659 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 近年来，从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS(微电子机械系统) 技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学量、化学量和微生物的微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全

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