《一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器》PDF+DOC
作者:肖刚,谢铁邦,王选择
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》2005年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS2005010020
DOC编号:DOCJLJS2005010029
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本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、高分辨力的特点
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