作者：吉爱红,汪炜,黄国平 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ20050400R0 DOC编号：DOCCGQJ20050400R9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 三坐标精密移动平台的X，Y，Z3个方向的位移测量采用了基于容栅传感器的数显位移测量统，位移测量范围可达0~40mm，位移分辨力为0. 001mm，精度为0. 01mm。检测结果表明：系统精度高稳定性好、使用方便。

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