作者：李春明,张彤,刘丽,徐宝琨 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005030300 DOC编号：DOCCGQJ2005030309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率，作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层，而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上，以减小工艺复杂度，获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度与间距时的温度分布。当设定加热器宽度为50μm，信号电极宽度50μm，加热器和信号电极间距为25μm，微气体传感器将获得更低的功耗和比较均匀的中心温度分布，有利于传感器整体性能的提高。

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