《硅压阻式压力传感器时漂研究》PDF+DOC
作者:黄晓因,段美英,鲁绍坤,周宏
单位:东南大学
出版:《电子器件》2005年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ20050100E0
DOC编号:DOCDZQJ20050100E9
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压力传感器的时漂普遍存在,一直找不到有效的方法来解决。针对因参数退化引起的时漂,采用加速老化试验,得到了压力传感器的失效模式及失效比例。分析了输入/输出特性曲线形状及其随时间和温度的变化规律。提出一种用标准压力对传感器进行实时标定进而获得实时输入/输出特性的方法,标定的实现由程序控制。经验证对比,实时输入/输出特性达到很高的精确度。在0 ~ 45 kPa压力范围、-10 ~ 45℃温度范围内,根据其计算的压力值与实际压力比较,最大偏差为 0.098 kPa, 最大相对误差0.92 %。
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