作者：陈硕,张金英,李璐,郑天祥 单位：国网智能电网研究院 出版：《智能电网》2016年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZNDW2016060170 DOC编号：DOCZNDW2016060179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 作为高压、特高压领域几乎唯一的绝缘和灭弧介质，SF6的泄漏对电力设备的安全运行和电力系统的稳定可靠造成威胁，而且还会造成人员伤害和大气污染的恶性后果。因此，电力设备对电气设备中SF6气体泄漏的监测必不可少。主要阐述基于负电晕放电原理的SF6传感器的基本原理、器件结构及性能；分析基于MEMS技术的微型SF6传感器的发展现状；设计制备MEMS SF6基本原理传感器的硅基微电极阵列，其中硅尖阵列间距为55μm，高度约为16μm，顶端曲率半径约为150 nm。基于以上微电极阵列组装负电晕放电器件并测试其伏安特性，验证其电晕放电趋势，可用于SF6气体检测。

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