作者：周俊峰,谭建平 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》2005年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC2005070260 DOC编号：DOCGDGC2005070269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析激光板凸度检测原理，根据测量间隙参数的变化，建立检测系统传感器位置状态表，将系统中传感器的位置关系分为正间隙、有效负间隙、无效负间隙三类。三种关系下系统的测量范围分别为：1)4mm以上；2)0-4mm；3)不能测量。由此提出一种传感器位置调节方法，以位置状态表作为调节判据，运用伺服跟踪技术，在检测过程中使传感器自动处于最佳的位置关系，实现检测的智能化。差动式厚度试验表明，本方法具有高效、精确、自动化程度高的特点，位置调节精度达到&#177；1μm。

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