《CMOS工艺兼容的温湿度传感器》PDF+DOC

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5. 《一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制》PDF+DOC 一体化温湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Ａｌ２Ｏ３陶瓷基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器。湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻，温度传感器采用具有ＮＴＣ特性的ＭｎＣｏＮｉ系氧化物厚膜热敏电阻。它不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量，而且给湿度传感器的温度......
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