《表面等离子共振氢敏传感器理论和模拟》PDF+DOC
作者:胡建东,文泓桥,林志立
单位:中国科学院光电技术研究所;中国光学学会
出版:《光电工程》2005年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDGC20050100M0
DOC编号:DOCGDGC20050100M9
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提出了一种钯(Pd)膜氢敏感表面等离子共振传感器结构,该传感器以镀在棱镜端面的 Pd作为氢敏感膜。Pd 膜吸氢以后发生化学反应,生成的 PdHx使折射率发生变化,同时,它作为金属膜产生 SPW,当折射率变化时又在金属和介质表面产生表面等离子共振。利用 Fortran 语言程序进行了表面等离子共振氢敏传感器的 Pd 膜厚度和传感器灵敏度数值模拟。氢气浓度的变化引起折射率的变化,数值模拟表明,表面等离子共振氢敏传感器的灵敏度与 Pd 膜厚度有关,当 Pd膜的厚度在 10-30nm 时,氢气浓度在 1%-10%范围内具有较高的灵敏度。这种传感器结构将用于监测氢气作燃料的商用和军用机车的氢气泄漏。
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