《三分量光弹波导混合集成加速度传感器》PDF+DOC
作者:唐东林,陈才和,崔宇明,王金海
单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所
出版:《光子学报》2005年第07期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGZXB2005070250
DOC编号:DOCGZXB2005070259
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三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器的研究,为高频高精度地震勘探提供集成化的高精度传感器.利用光弹原理,分析了光弹效应检测任意方向加速度的原理.在X切Y传LiNbO3晶体上,设计制作了光波导双MZ干涉仪及各集成器件:波导相位调制器、波导偏振器.三分量光弹波导MZ干涉型集成加速度传感器测试表明:该传感器动态范围宽、线性性好.主要参数为:相位灵敏度达1.81×;10-4Rad/m·;s-2;工作频带3~1506(Hz)。
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