《硅谐振式压力微传感器闭环系统》PDF+DOC

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2. 《谐振式硅微传感器闭环系统动态特性影响因素》PDF+DOC 动态特性是传感器的一个重要的性能指标。本文分析了基于幅频特性的谐振式硅微压力传感器闭环系统的动态特性及其影响因素，并进行了相应的实验研究。由基于幅频特性的闭环系统内部控制过程得到影响闭环系统动态特性的因素有三个：谐振器固有频率对压力的响应时间；谐振器稳定振动的建立时间；信号处理与数据处理时间。对闭环......
3. 《振动筒压力传感器开环测试特征参数分析》PDF+DOC 文中介绍了振动筒压力传感器谐振敏感元件特征参数的测试方法。利用传感器谐振敏感元件拾振信号特征参数分析了谐振敏感元件的性能。通过研究检测信号特征参数的规律，给出了构建谐振式压电激励压力传感器闭环自激系统的依据。...
4. 《硅谐振压力微传感器开环测试中的信号处理技术》PDF+DOC 介绍了自行设计的专用开环测试系统。该系统为一个自动测试系统，可测出谐振梁的幅频和相频特性，而且能成功地测出从拾振电阻获得的若干微伏的微弱信号。开环测试中最重要的问题是所谓的同频干扰。发现通过激励电阻与拾振电阻间的分布电容耦合的激励信号是同频干扰的最终来源。用对称激励技术成功地解决了这一问题。...
5. 《压电激励谐振筒压力传感器的研究》PDF+DOC 本文首次提出压电激励单模态和双模态谐振式振筒压力传感器的不同实现方案；并从闭环系统证明，双模态测量原理可以抑制环境温度等因素引起的误差，因而无需另加温度补偿。...
6. 《硅谐振梁式微传感器同频干扰的研究》PDF+DOC 主要研究了静电激励 电容拾振的谐振梁式微传感器的同频干扰问题及解决的方法 ，提出了采用梁的二阶振动模态解决同频干扰的方法...
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8. 《硅微谐振式加速度计结构设计与仿真》PDF+DOC 硅微谐振式加速度计以易于检测的准数字信号作为输出，是微传感器的一个研究热点。提出一种基于一级微杠杆放大机构和DETF谐振器的硅微谐振式加速度计的结构设计，在分析工作机理以及误差来源的基础上阐述硅微谐振式加速度计的设计要点；结合现有加工工艺水平完成整体结构设计；运用MATLAB分析结构参数对性能的影响......
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10. 《硅谐振式微传感器开环特性测试与数据处理》PDF+DOC 为了精确计算出硅谐振式微传感器的谐振频率、谐振峰值和品质因数，根据硅谐振式微传感器的理论模型以及开环特性测试实测数据，通过分析讨论、仿真与实验从多方面比较了低通滤波与改进的最小二乘法等数据处理算法，并得到了整体最优的算法。所设计的相应程序为硅谐振式微传感器开环特性测试系统专用数据处理程序，同时本文讨......