作者：施云波,张洪泉,董新平,郭建英 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005090150 DOC编号：DOCCGQJ2005090159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 阐述了声表面波(SAW)传感器的结构与工作原理；介绍了采用MEMS技术加工传感器芯片和敏感膜固定化的关键工艺；给出并分析了传感器的主要特性。试验和测试结果表明：传感器具有灵敏度高、响应速度快、抗汽油干扰等特点。

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