作者:陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2005年第07期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX2005070160 DOC编号:DOCBDTX2005070169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型电容式湿度传感器简介》PDF+DOC1996年第09期 邹德恕,王东风,高国 《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC1989年第02期 高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰 《CMOS工艺兼容的温湿度传感器》PDF+DOC2005年第07期 彭韶华,黄庆安,秦明,张中平 《一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2014年第09期 曹新亮,黄宝瑞 《基于纳米森林的电容式湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 陈贵东,石梦,毛海央,熊继军,陈大鹏 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC1999年第04期 吴正元,陈涛,陈萍丽 《带微机的湿度仪》PDF+DOC1993年第02期 纪宗南 《CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC2003年第06期 顾磊,秦明,黄庆安 《聚酰亚胺电容式湿度传感器的制备工艺研究》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红 《基于CMOS工艺的硅基PI湿度传感器的研制》PDF+DOC2009年第04期 杨子健,韦波,王敬松,崔千红,杨建红
  • 对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导,物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化,考虑其电场分布,对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真,结果表明所建模型比通常采用的Laconte模型更符合实验结果。

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