《CMOS兼容电容型湿度传感器的理论模型》PDF+DOC
作者:陈军宁,于峰崎,王阳,柯导明
单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会
出版:《Journal of Semiconductors》2005年第07期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTX2005070160
DOC编号:DOCBDTX2005070169
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对一种与CMOS工艺兼容的电容型湿度传感器进行了理论推导,物理建模和模拟仿真.该湿度传感器是采用梳状铝电极结构,聚酰亚胺作为感湿介质.通过分析感湿介质的介电常数吸附水分后的变化,考虑其电场分布,对电容型湿度传感器的理论模型进行了研究和模拟.利用Matlab软件对理论模型进行仿真,结果表明所建模型比通常采用的Laconte模型更符合实验结果。
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