作者：李松,Martin Jaegle,Harald Boettner 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2005年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2005010080 DOC编号：DOCCGJS2005010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在 4英寸的硅片上制作完成的。首先 ，沉积金属铂电极 ，加热棒和温度传感器。其次 ，沉积半导体金属氧化物SnO2 。然后进行传感器阵列电极的焊接 ，封装。最后进行测量 ，测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4) ，一氧化碳 (CO) ，氢气 (H2 ) ，二氧化氮 (NO2 )和氨气 (NH3 )的响应。

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