作者：姚朝晖,葛其明,丁英涛,郝鹏飞 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2005年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2005040070 DOC编号：DOCCGJS2005040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微管道内剪应力传感器的研制与优化》PDF+DOC2007年第03期 丁英涛,仲顺安,谢君堂 《水下MEMS壁面剪应力传感器标定方案仿真分析与实验验证》PDF+DOC2016年第02期 黄欢,孙海浪,田于逵,张楠,谢华,沈雪 《混凝土嵌入式压电动态剪应力传感器研发》PDF+DOC2015年第05期 许斌,王丹 《热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展》PDF+DOC2017年第02期 孙宝云,马炳和,邓进军,姜澄宇 《基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制》PDF+DOC2012年第10期 杨勇,常洪龙,谢中建,周平伟 《微型热敏剪应力传感器的温度补偿》PDF+DOC2011年第09期 杨少华,马炳和 《微型剪应力传感器的热特性分析》PDF+DOC2009年第05期 丁英涛,逯海波,仲顺安,谢君堂 《动态共振剪应力传感器概念研究》PDF+DOC2009年第05期 张旭 《柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正》PDF+DOC2014年第02期 马炳和,王毅,姜澄宇,李雁冰,王雷涛 《浮动式微剪应力传感器及其在气动测量中的应用》PDF+DOC2014年第01期 吕海峰,苑伟政

    • 制作了一个微管道内的剪应力传感器，该传感器通过热传递的原理工作。采用硅微加工技术制作微管道，在玻璃上通过溅射方法形成钛铂合金热膜，最后将两者键合封装，形成埋置了热膜的封闭微管道。测量了热膜的电阻温度系数，确定了热膜处于不同输入功率下的过热比。对该剪应力传感器进行了方波实验，确定其工作在不同过热比下的时间常数。对传感器进行实验标定，得到不同进出口压差下，微管道内的壁面剪应力大小。

    📙 相关资料

    1. 《微管道内剪应力传感器的研制与优化》PDF+DOC 基于微机电系统(MEMS)微加工工艺，开发了一种能够测量微管道内壁面剪应力的热式传感器，以多晶硅为热敏元件，在低阻硅衬底上形成多孔硅膜隔离硅衬底损耗.利用水浴加热方法测量得到电阻温度系数为0.21%/℃.采用数值模拟的方法对剪应力传感器进行了热分析，探讨了提高剪应力传感器灵敏度和线性度的方法，为优化......
    2. 《水下MEMS壁面剪应力传感器标定方案仿真分析与实验验证》PDF+DOC 壁面剪应力的精确测量对于研究水下物体边界层流动、寻求有效的减阻增效措施至关重要。MEMS壁面剪应力传感器的标定，首先是最基本的静态标定，决定了其测量的精度和数据的可信度。为辅助实现水下MEMS壁面剪应力传感器的精确标定，本文对采用槽道流法的精密标定装置流动条件进行数值仿真及激光多普勒测速仪测速实验，......
    3. 《混凝土嵌入式压电动态剪应力传感器研发》PDF+DOC 制作了一种利用剪切型压电陶瓷片作为传感元件的可用于混凝土内部动态剪应力测量的传感器，提出了一种标定试验方法，即将动态剪应力传感器嵌入混凝土空心薄壁空心圆筒中，并利用小型落锤试验机，对空心薄壁圆筒施加冲击荷载根据剪力计算值与传感器的输出信号对传感器灵敏度进行标定。试验结果表明，传感器输出与剪应力的线性......
    4. 《热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展》PDF+DOC 基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状，重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度，对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。...
    5. 《基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制》PDF+DOC 针对铂湿法刻蚀工艺，提出了间断性腐蚀法，并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比，结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后，以普通硅片作为衬底材料，二氧化硅作为隔热层，采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试，其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2&#215......
    6. 《微型热敏剪应力传感器的温度补偿》PDF+DOC 微型热敏剪应力传感器在航空航天等领域有重要应用价值，然而基于热敏感原理的间接剪应力测量会引入流体环境温度的影响。结合热敏剪应力传感器的热交换模型，研究了流体环境温度变化的影响机理。分析了常用温度修正方法的应用局限性，设计了结合流体温度、从信号处理角度修正传感器输出的温度补偿方法，没有增加电路复杂程度......
    7. 《微型剪应力传感器的热特性分析》PDF+DOC 研究不同结构、不同热敏元件温度和不同工作介质等情况下剪应力传感器的性能差异.通过实验和数值模拟相结合的方法对剪应力传感器进行了热特性分析.数值模拟结果发现：采用热敏元件下部埋置真空空腔的结构，隔热效果最佳；选择相对较高的热敏元件温度和较高热物性系数的工作气体有助于获得较高的灵敏度.该结果对优化设计微......
    8. 《动态共振剪应力传感器概念研究》PDF+DOC 提出一种新的基于共振表面元的动态共振墙剪应力传感器概念，并且通过建立理论模型、数值模拟和实验验证进行了系统的研究。研究结果表明动态共振墙剪应力传感器概念能够精确测量低速流场的墙剪应力，而且可能用于壁面湍流流场的控制研究。实验设计了开环和闭环测量控制系统，用于测量动态共振墙剪应力传感器位移随墙剪应力的......
    9. 《柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正》PDF+DOC 柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时，流体温度对传感器输出有很大影响，因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和流体物理性质与温度的相关性，建立了流体温度与传感器过热比和标定系数的函数关系。在此......
    10. 《浮动式微剪应力传感器及其在气动测量中的应用》PDF+DOC 壁面剪应力的测量是试验空气动力学领域中的一项重要测试任务。精确的测量剪应力能够判断边界层内的流体运动状态，为主动流动控制、摩擦阻力的计算提供依据。采用MEMS工艺制作的微剪应力传感器具有尺寸小、频响高、功耗低等特点，为壁面剪应力的测量提供了一种新的方法。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。