《抗共振反射集成光学传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:吴英才,顾铮先,袁一方
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2005年第11期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2005110000
DOC编号:DOCCGQJ2005110009
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抗共振反射光波导(ARROW)具有与传统光波导所不同的传播特性。利用覆盖层的抗共振反射性质,ARROW传播单模、高阶模被泄漏到基体。基于折射率的变化,抗共振反射传感器对物理量、化学量和生物分子间的相互作用有很高的敏感性。介绍了ARROW的结构、传感器的工作原理以及最新研究进展。由于可采用CMOS工艺制作波导,且能与光探测器在一块集成,抗共振反射传感器将具有广阔的应用前景。
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