作者：孙立宁,晏祖根 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005100040 DOC编号：DOCCGQJ2005100049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了基于误差补偿的机器人系统原理，采用等电位环和驱动屏蔽电缆技术，设计了电容式微位移传感器及其信号调理电路。该电路包括改进型的电容运算放大器检测电路、精密全波整流电路和滤波电路等。试验结果表明：该电容式传感器的分辨力优于0.1μm，全量程非线性度小于0.2%；利用该电容式传感器测试偏摆误差，并进行偏摆误差补偿，机器人的性能得到提高。

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