作者：范小燕,廖小平,黄庆安 单位：中国电子学会 出版：《微波学报》2005年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWBXB20050200H0 DOC编号：DOCWBXB20050200H9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展，包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元，对这些基本单元分别作了分析，并给出了这些基本单元和总体结构的性能指标，同时介绍了Si和GaAs衬底上制备微波功率传感器的主要工艺。

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