作者：张书玉,张维连,张生才,姚素英 单位：河北工业大学 出版：《河北工业大学学报》2005年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGB2005020050 DOC编号：DOCHBGB2005020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC2015年第09期 李丹丹,梁庭,李赛男,姚宗,熊继军 《基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制》PDF+DOC2017年第01期 姚宗,梁庭,张迪雅,李旺旺,齐蕾,熊继军 《四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用》PDF+DOC2001年第06期 张为,姚素英,刘艳艳,王涌萍,阎富兰,田莉萍,牛秀文 《各向异性腐蚀技术研究与分析》PDF+DOC2001年第02期 沈桂芬,吴春瑜,姚朋军,杨学昌,刘兴辉,吕品,高嵩 《能在高温下测量的SOI型压力传感器》PDF+DOC1994年第02期 载风 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC2002年第04期 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新 《智能剥离SOI高温压力传感器》PDF+DOC2001年第07期 黄宜平,竺士炀,李爱珍,鲍敏杭,沈绍群,王瑾,吴东平 《耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制》PDF+DOC2007年第Z1期 李新,庞世信,徐开先,孙承松 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC2006年第04期 张书玉,张维连,索开南,牛新环,张生才,姚素英 《基于SOI技术高温压力传感器的研制》PDF+DOC2014年第06期 陈勇,郭方方,白晓弘,卫亚明,程小莉,赵玉龙

    • SOI(silicononinsulator)高温压力传感器是一种新型的半导体高温压力传感器，具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点，能够解决石油、汽车、航空、航天等领域对高温压力传感器的迫切需求，在高温领域有很大的潜力.本文论述了SOI材料的制备方法-特别是硅片直接键合技术(SDB)，简单介绍了SOI压力传感器的优势、制作工艺以及SOI压力传感器的发展现状。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS工艺的SOI高温压力传感器设计》PDF+DOC 利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散，刻蚀，氧化，金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片，并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃间形成真空参考腔，最后通过引线键合工艺完成敏感芯片与外部设备的电气连接。对封装的敏感芯片进行高温下的加压测试，高温压力测试结果表明，在21℃(常温)至300℃的温度......
    2. 《基于SOI的MEMS压阻式高温压力敏感芯片的研制》PDF+DOC 设计并制备了一种基于SOI(silicon on insulator)材料的MEMS压阻式高温压力敏感芯片。在设计方面，通过理论计算与仿真，对敏感芯片各项参数进行了优化；在工艺方面，设计了基于标准MEMS工艺的制作流程，并创新性地提出了“器件区下沉”工艺步骤，以提高敏感芯片工艺制备的可靠性。采用31......
    3. 《四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用》PDF+DOC 通过各向异性腐蚀硅杯实验 ，研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ，包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ，不同腐蚀条件下硅杯的表面状况...
    4. 《各向异性腐蚀技术研究与分析》PDF+DOC 本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ，根据实验提出了它们的优缺点 ，介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ，对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 。...
    5. 《能在高温下测量的SOI型压力传感器》PDF+DOC 能在高温下测量的ＳＯＩ型压力传感器长谷裕二等１．开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量，它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本地生产，因此广泛用于汽车发动机控制、空调及吸尘器等家用电器以及医疗设备等各个领..。...
    6. 《一种新型单晶硅SOI高温压力传感器》PDF+DOC 单晶硅 SOI高温压力传感器是一种新型高性能高温压力传感器。它与扩散硅压力传感器相比有较高的工作温度 ，与多晶硅高温压力传感器相比有更高的工作灵敏度。这主要得益于它采用了单晶硅膜的 SOI结构。本文给出了这种压力传感器的工艺生产过程 ，并相对深入地讨论了各向异性腐蚀硅杯和静电封接这两道工序。介绍了此......
    7. 《智能剥离SOI高温压力传感器》PDF+DOC 采用改进的 RCA清洗工艺提高了硅片的低温键合质量 ，提出了一种积聚式缓慢退火剥离方法用于制备智能剥离 SOI (Silicon On Insulator)材料 ，并用该材料成功地研制了双岛 -梁 -膜结构的...
    8. 《耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制》PDF+DOC 如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30~40mV/(mA.MPa)，非线性≤1‰FS，重复性≤1‰FS。与常温测......
    9. 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏......
    10. 《基于SOI技术高温压力传感器的研制》PDF+DOC 针对油气田等领域高温高压环境要求，介绍了一种高温压力传感器芯片的设计及研制，设计的高温压力传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题。通过静电键合封装技术将耐高温SOI压阻芯片与玻璃片在真空环境下封装结合为一体，作为全硅结构的压力传感器的弹性敏感单元，解决高温环境下测量大量程压力......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。