作者:王绍清,徐肯,冯勇建 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2005年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2005030020 DOC编号:DOCYBJS2005030029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试》PDF+DOC2004年第11期 徐肯,王绍清,冯勇建 《微型电容式压力传感器中的温度效应》PDF+DOC2006年第05期 黄哲琳,冯勇建 《新型电容式微型压力传感器》PDF+DOC2000年第06期 冯勇建,卓勇,许金海 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC2006年第07期 冯勇建 《电容式测压微型传感器》PDF+DOC2000年第01期 许金海,冯勇建,卓勇 《一种新型的压力微传感器》PDF+DOC2001年第06期 李琦,周浩敏 《微机械氮化硅梁谐振式压力传感器》PDF+DOC2001年第04期 陈德勇,崔大付,于中尧,王利 《用于火炮膛内压力测试的电容式传感器的设计》PDF+DOC2011年第03期 李新娥,祖静,马铁华,徐鹏 《微传感器压力测量系统》PDF+DOC2007年第08期 杨世忠,邢丽娟 《基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备》PDF+DOC2013年第06期 李晨,熊继军,谭秋林,康昊,葛斌儿,王伟
  • 从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍了利用硅-硅键合技术制作的微型电容式压力传感器,给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图。对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析。最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试,并对测试结果进行具体分析。结果表明:该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。

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