《基于MEMS技术的微型传感器》PDF+DOC
作者:李学东,余志伟,杨明忠
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2005年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2005090010
DOC编号:DOCYBJS2005090019
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和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。
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