《超级千分表的发展》PDF+DOC
作者:邹自强,李明媛,邹光宇
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2006年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2006020220
DOC编号:DOCYQXB2006020229
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讨论了超级千分表的工作原理和优点,描述了超级千分表关键参数及其检测方法。其中,由于百万分表(纳米表,纳米测长仪)的技术难度最大,所以文中侧重讨论它的检测。大量实测数据表明:百万分表的测量重复性(标准偏差)在0.6~1.2nm范围内;在未作任何误差修正的条件下,示值误差=±;(30~60)nm;以光波波长作为基准进行误差修正后,示值误差可达±;(10~20)nm,细分误差≤±;5nm。
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