作者：俞瑛 单位：兵器工业第二一四研究所 出版：《集成电路通讯》2005年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCTX2005010010 DOC编号：DOCJCTX2005010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械惯性传感器》PDF+DOC1999年第08期 李志宏,杨振川,武国英 《惯性传感器在体育运动中的应用探究》PDF+DOC2014年第18期 尹伊 《MEMS惯性传感器研究现状与发展趋势》PDF+DOC2019年第06期 李晓阳,王伟魁,汪守利,彭泳卿,金小锋 《MEMS在惯性测量中的应用》PDF+DOC2001年第07期 李志信,罗小兵,过增元 《惯性传感器的发展趋势》PDF+DOC1996年第10期 张福学,任宏超 《微机械惯性仪表综述》PDF+DOC1996年第02期 郭秀中,陈家斌 《石英微机械惯性传感器的加工技术》PDF+DOC2002年第10期 谭德生,张巧云 《微型组合导航系统中的传感器野外标定方法》PDF+DOC2012年第06期 何昆鹏,于玖成,何应云 《基于MEMS惯性传感器的机器人水平姿态检测系统设计》PDF+DOC2009年第05期 何伟,陈伟 《加速度计和陀螺仪传感器:原理、检测及应用》PDF+DOC2014年第06期 Majid Dadafshar

    • 本文简述了MEMS技术及微机械传感器的技术含义，着重对硅微机械惯性传感器原理及研制硅微机械惯性传感器的关键技术进行描述，为开展硅微机械惯性传感器研究及应用作技术准备及必要的思考。

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