作者：孔令纲,沈景春 单位：大庆油田有限责任公司 出版：《石油石化节能》2005年第10期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWYT2005100110 DOC编号：DOCGWYT2005100119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 尽管常规地震检波器发展已有50年的历史，体积变得很小，灵敏度很高，并且较好地抑制地面噪声，但MEMS加速度传感器仍然以其直接的数字输出、高的矢量保真度和良好的低频响应，逐渐成为新世纪地球物理勘探技术发展中的重要角色。文章对MEMS传感器进行了概述，对其结构与工作原理进行了简要分析。

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