作者：王冬生,王春明,胡桂珍 单位：辽宁省机械研究院 出版：《机械设计与制造》2006年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYZ2006040500 DOC编号：DOCJSYZ2006040509 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微机电系统的研究与应用》PDF+DOC2014年第01期 肖顺 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《微系统与纳系统技术(上)》PDF+DOC2001年第09期 周兆英,冯焱颖 《大有作为的硅微传感器》PDF+DOC1996年第06期 马天方 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《微机电系统科学与技术的现状研究》PDF+DOC2003年第11期 黄志奇,杜平安,卢凉 《MEMS技术在流体控制中的应用》PDF+DOC2007年第01期 易亮,欧毅,陈大鹏,叶甜春

    • 这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域，重点介绍了MEMS加工技术及其分类，最后给出了该技术的展望。

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