《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议...
2. 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC 随着我国科技的不断进步，MEMS传感发展迅猛，在各个领域内得到广泛应用。再次情况下，本文阐述了MEMS技术的特点，分析了其在各领域内的具体应用情况，并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。...
3. 《MEMS压力传感器介绍》PDF+DOC MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点，可以很好地满足各种电子设备的要求，将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能，已经成为各个领域发展的主要方向之一。与传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景。文中详细绍了MEMS压力传感器件的结构、原理......
4. 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC 本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展，简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术，对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。...
5. 《真空微电子学的崛起》PDF+DOC 近年来，真空微电子学的发展引人瞩目，它的应用十分广泛，普遍认为真空微电子学是继真空管、集成电路之后电子学发展中又一新产业的标志，本文主要探讨真空微电子的发展背景。...
6. 《热激励硅谐振式压力传感器的研制》PDF+DOC 介绍了基于表面微加工工艺和多孔硅牺牲层技术，设计并制作出梁膜一体化的热激励硅谐振梁压力传感器，给出了制作的工艺过程和参数，测试了传感器在真空中开环状态下的谐振频率-压力特性及幅频特性，其灵敏度达到54 89Hz/kPa，Q值大于20000，0～300kPa范围内线性相关系数为0 9997。...
7. 《MEMS压力传感器今年将再度强劲增长,受汽车与手机领域推动》PDF+DOC 据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器服务，由于大量用于汽车以及快速增长的手机领域，MEMS压力传感器今年将再度强劲增长，而且将高于去年的两位数速度。今年MEMS压力传感器营业收入预计将达17.1亿美元，比2012年的15亿美元增长14%。今年增长率将高于去年的...
8. 《基于MEMS技术的微型传感器》PDF+DOC 和传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它们能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景，越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理，说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。...
9. 《压力传感器2014年将成为头号MEMS器件》PDF+DOC 据IHS iSuppli公司的MEMS与传感器研究报告，由于价格相对较高，以及在汽车、医疗与工业等领域的应用范围不断扩大，压力传感器到2014年将成为销售额最高的微机电系统(MEMS)器件。...
10. 《采用综合法封装MEMS加速仪》PDF+DOC MEMS封装系统应有MEMS执行感应功能，而且还要避免受到外界环境的影响，同时持续地改进质量，达到较高的ppm性能。本文采用SOIC封装，必须维持一个特定的共振频率，从而防止传感器被粘住或卡住。同时，封装必须确保传感器是可靠和完整的，没有出现断裂或输出偏差。本文采用一种综合学科研究方法，以确定合适的......