作者：李明,王鸣,王婷婷,聂守平 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2005年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2005040040 DOC编号：DOCGXJS2005040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《光纤微机电压力传感器的设计》PDF+DOC2004年第04期 李明,王鸣,王婷婷,聂守平 《一种全石英光纤法布里-珀罗大量程压力传感器的研制》PDF+DOC2016年第03期 王俊杰,谢俊 《光纤法布里—珀罗腔式冲击波压力传感器及其应用研究》PDF+DOC2014年第S2期 周会娟,余尚江,杨吉祥,陈晋央,郭士旭,贾超 《光纤压力传感器制作研究》PDF+DOC2012年第S1期 张立喆,张力,段玉培,黄彩霞 《157nm激光微加工制作的微光纤压力传感器》PDF+DOC2011年第12期 倪敏,冉曾令,鲁恩,饶云江 《光纤微机电系统法布里-珀罗压力传感器的波分复用》PDF+DOC2007年第05期 倪小琦,王鸣,陈绪兴,戴霞娟 《台面结构硅基法珀型光纤MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC2007年第04期 陈绪兴,王鸣,戎华,倪小琦 《基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC2006年第05期 葛益娴,王鸣,陈绪兴,李明 《新型全光纤型可调法-珀滤波器的制备与实验》PDF+DOC2009年第01期 童杏林,吕大娟,刘恋,吴薇,胡文彬 《快速傅里叶变换与线性调频Z变换联合算法在光纤法布里-珀罗传感器解调中的应用》PDF+DOC2008年第07期 戴霞娟,王鸣,贲玉红

    • 设计了一种基于微机电系统(MEMS)的光纤压力传感器，证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里_珀罗腔的理论模型解释。推导出了在光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜的压力与干涉光强的关系表达式，并对光纤MEMS压力传感器的模型进行了数值模拟，初步确定了在传感器的制作过程中各个物理量的取值。其中腔体半径为300μm、腔体深度为1.42μm、硅横膈膜厚度为23μm，为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础。

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