作者：王阳,陈军宁,柯导明,徐超 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005120130 DOC编号：DOCCGQJ2005120139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对与CMOS工艺兼容的电容式湿度传感器的测量电路进行了分析和仿真，为后期的湿度传感器流片成功提供了有效的保证。该湿度传感器系采用梳状铝电极结构，聚酰亚胺作为感湿介质。比较不同的测量方法，得出最优的测量电路。对测量电路进行理论推导后，对其进行模拟，得出了输出电压与相对湿度的关系图。最后，对该湿度传感器进行版图设计，并分析其后加工工艺。

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