作者：吴耀春,萧泽新,高兴宇 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2006年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2006S10430 DOC编号：DOCGXJS2006S10439 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 高精度工作台控制系统是现代自动显微系统的重要组成部分，其精度直接影响显微镜对样品的检测质量。介绍了一种基于AT89C52单片机的显微镜工作台闭环控制系统的设计方案。工作台移动时作为检测元件的光栅输出脉冲信号。单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值，控制步进电机进行反馈补偿。步进电机通过细分驱动模块可以以四种不同的步距驱动工作台移动，以实现显微镜对工作台移动速度的不同需要。8位数码管实时显示工作台移动的实际位置。实验结果表明，该系统的重复定位精度可达到0.020mm，可满足显微镜对控制工作台的要求。

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