《MEMS技术,让世界尽在“掌”握》PDF+DOC

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2. 《苯系物(BTEX)检测气敏材料研究进展》PDF+DOC 金属氧化物半导体传感器因具有体积小、成本低廉、使用方便等优点，越来越受到研究者的关注并被用于有毒有害气体的监测。传感材料是气敏传感器的核心，本文综述了近年来氧化物半导体BTEX气敏传感材料的研究进展，对传感材料的微结构、负载/掺杂改性、气敏性能、气敏机理及存在的问题进行了分析，并探讨了其下一步发展趋......
3. 《大范围高灵敏度纳米尺度氨气传感器的制备》PDF+DOC 介绍了基于碳纳米管与聚苯胺纳米纤维的两种氨气传感器的制备与测试，综合运用两种传感器，兼顾了高灵敏度和大范围测量两项互相制约的要求。使用近场电纺技术制备单根聚苯胺纳米纤维传感器，对1&#215；10-6氨气灵敏度达到2.7%，比较了聚苯胺纳米纤维结构和薄膜结构的响应特性。纳米纤维的立体结构可提......
4. 《一种纳米纤维压电式压力传感器的分析与制作》PDF+DOC 为研究多铁纳米纤维在压力传感器上的应用，基于多铁纳米纤维敏感材料，利用MEMS技术、静电纺丝技术，设计制作了一种压电式压力传感器。通过对单根纳米纤维压电特性的有限元分析，得出纳米纤维直径越小，长度越大，即电极间距越大，纤维端电势越高，灵敏度越好。设计了传感器的结构尺寸和工艺过程，制作出了传感器样片。......
5. 《基于光纤微机电系统的纳米级测量技术》PDF+DOC 纳米技术作为当前发展最迅速、涉及范围最广的科学技术之一，被誉为21世纪的科技新星，对工业技术革新、产业升级具有十分重要的意义。随着技术的飞速发展，纳米技术涉及的范围也越来越广。目前，纳米科学与技术这一学...
6. 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC 介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用，重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。...
7. 《静电纺丝纳米纤维在传感器与MEMS中的应用》PDF+DOC 静电纺丝技术是一种简单、快速制备纳米纤维的方法，已成为目前纳米材料制造领域研究的热点；静电纺丝纳米纤维以结构均匀、比表面积大、易于改性等优点，在电子器件、生物医学领域、滤材等方面广泛应用.文章介绍了功能性纳米纤维的制备方法、有序纳米纤维的研究现状，分析了纳米纤维在传感器和微机电系统中的应用。...
8. 《用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试》PDF+DOC 针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器，开展了传感器的性能测试，系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号，提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式，并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路，研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性......
9. 《横向负载下三维微触觉传感器的力学模型》PDF+DOC 提出了一种用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉式传感器在横向负载下的力学模型，用于指导传感器的设计和优化.对传感器的整体刚度、敏感梁的应力分布、检测灵敏度及线性灵敏度进行了计算.利用ANSYS有限元仿真方法模拟了传感器的应力分布，分布曲线与理论曲线的偏差小于3.870/0，最大应力的仿真和理论偏......
10. 《纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制》PDF+DOC 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器，通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜......