作者：李旭辉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006050020 DOC编号：DOCCGQJ2006050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微机电系统(MEMS)技术有小尺寸、多样化、微电子等特点，它将信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新的高度。MEMS做成的惯性器件(微加速度计和微型陀螺)以及MEMS在小型卫星、海陆空作战平台及信息传递、航空航天、生物医疗和医学等方面有广泛应用。

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