《直拉法晶体生长的晶体形状控制算法》PDF+DOC
作者:王岩,康明,李敏远
单位:中国兵器工业第58研究所
出版:《兵工自动化》2006年第01期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBGZD2006010370
DOC编号:DOCBGZD2006010379
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直拉法晶体形状控制采用Bardsley算法。先确定晶体重量、时间和长度初始值,再以给定初始时间确定晶体生长阶段,在相应时间段用线性内插法重新表示上述过程参变量,然后引入循环下标及前一控制周期模型量,得到相应长度增量的晶体模型重量。比较模型重量和称重传感器测量值,计算PID控制器输出,从而得出晶体重量。
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