《热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响》PDF+DOC
作者:杜晓松,杨邦朝,滕林,宋远强,蒋亚东
单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会
出版:《功能材料》2006年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGNCL2006090220
DOC编号:DOCGNCL2006090229
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采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜。对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征,并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试,结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大提高。SEM和XRD的分析表明,压阻系数的提高是由于热处理后薄膜晶粒长大、缺陷减少、电阻率下降所致。敏感薄膜的电阻率与传感器的灵敏度直接相关。热处理后,薄膜压阻计的灵敏度已接近箔式传感器的水平,热处理是提高薄膜压阻计灵敏度的有效手段。
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