《MIS结构电容器的湿敏特性研究》PDF+DOC
作者:杨发权
单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会
出版:《电子元件与材料》2006年第07期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZAL2006070150
DOC编号:DOCDZAL2006070159
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在室温情况下,研究了MIS结构电容器的湿敏特性。用交流串联电路,测量其电流与相对湿度和频率的依赖关系,实验结果表明:此结构有良好的感湿灵敏度和短的响应时间。其中相对湿度从12%变化到98%时,在较宽频率范围(102~105Hz)内,元件的电流有较大的变化。还对器件的物理模型进行了分析。
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