《热电偶传感器在半导体生产中的应用及误差分析》PDF+DOC
作者:向跃军,刘德军,林小文
单位:贵州省机电研究设计院;贵州省机械工程学会
出版:《现代机械》2006年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJX2006030380
DOC编号:DOCXDJX2006030389
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温度在半导体的生产中起着至关重要的作用。温度的检测和控制靠热电偶传感器,温度的准确不仅决定于测温的原理、热电偶传感器的类型、测量的设备,而且还决定于测试的方法。
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