作者：李学金,张杰锋,王欣义,张榕城 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z10620 DOC编号：DOCBDTQ2007Z10629 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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