《微机电系统内温度传感器的负荷效应及其补偿》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究》PDF+DOC 航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器，为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面，利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究......
2. 《智能传感器技术的研究进展及应用展望》PDF+DOC 随着智能时代的到来，各种智能传感器的研究和应用越来越受到人们的重视。智能传感器在传统传感器的基础上还具有丰富的信息处理能力，能够提供更综合的功能。本文介绍了常用的温度、压力、惯性、生化和RFID传感器的研究现状及其在物联网、虚拟现实(VR)、机器人、医疗健康等产业升级和创新应用中的关键作用，并对智能......
3. 《传感器技术在农业领域中的应用》PDF+DOC 简要介绍了传感器的概念及技术特点，并举例阐述了在农业生产中各关键环节对传感器技术的需求和应用现状，同时分析预测了未来农业领域中传感器技术的发展趋势，认为微机电系统(MEMS)微传感器、光电传感器、仿生传感器、无线网络传感器等新型传感器及新兴检测技术将成为未来农业传感器技术的主流发展方向。...
4. 《微型电容式压力传感器中的温度效应》PDF+DOC 主要介绍了利用硅?硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应，给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试，并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正，否则影响传感器的的线性工作范围。...
5. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
6. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC 主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。...
7. 《虚拟现实技术在微机电系统中的应用》PDF+DOC 根据VRT的内涵、主要特征和相关技术，按照MEMS的特点和发展目标，研究MEMS对VRT技术的需求及其应用，研究VR技术与MEMS的交叉融合及互动发展，提出将VR技术应用于MEMS的研究、设计、教学、培训；提出将MEMS应用于VR系统中。...
8. 《SOI微型电场传感器的设计与测试》PDF+DOC 该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比，该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案，降低了传感器屏蔽电极的边缘效应；并基于有限元仿真，进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下，测试......
9. 《无线传感器网络与工业无线测控系统》PDF+DOC 无线传感器网络的产生人类进入二十一世纪以后，微机电系统(MEMS)技术、低能耗的模拟和数字电路技术，低能耗的无线电射频(RF)技术和传感技术的发展使得开发小体积、低成本、低功耗的微传感器...
10. 《用于低温环境的铂电阻温度微传感器》PDF+DOC 目前，铂电阻温度传感器主要应用于73 K(-200℃)以上环境的温度检测。设计了可用于10 K(-263℃)～200 K(-73℃)低温区的铂电阻温度微传感器。铂电阻温度微传感器采用对称的折回型结构，这种结构有效地降低了交流感抗的影响。传感器的敏感薄膜是一层采用磁控直流溅射沉积厚度为200 nm的铂......