《基于辐射功率的微热板测温系统设计》PDF+DOC
作者:漆奇,张彤,刘丽,刘奎学,徐宝琨
单位:吉林大学
出版:《吉林大学学报(工学版)》2008年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLGY2008040360
DOC编号:DOCJLGY2008040369
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为了解决微小芯片表面测温的难题,设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率,再结合辐射功率与温度的关系,精确地测出微热板表面50μm×;50μm区域内的温度。实验测试结果与利用有限元分析软件Ansys得到的模拟结果基本一致,并且更换不同口径的光纤探头可以满足不同面积的样品的测量要求。
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