作者：潘安宝,闻化,姚东媛,高成臣,谢树海 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2008年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2008010290 DOC编号：DOCCGQJ2008010299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制，采用石英晶体材料制做弹性膜片，用音叉式石英力敏谐振器检测压力，减少了传感器的体积，降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa，中心频率为(40&#177；4)kHz，精度为0.05%。

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