作者:周文和,刘倩,王良璧,任学昌,王良辰,常青 单位:兰州交通大学 出版:《兰州交通大学学报》2009年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFLZTX2009040220 DOC编号:DOCLZTX2009040229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电阻式湿度传感器技术及相关专利分析》PDF+DOC 李玉林 《我国湿度测量技术达到世界先进水平》PDF+DOC1997年第05期 《一种高精度湿度传感器的研究》PDF+DOC2015年第13期 秦浩,尤佳,刘智敏,许志佳,王朝晖 《湿度传感器的应用研究》PDF+DOC 王金宝,谷文,张珽 《高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制》PDF+DOC2016年第07期 董鹏,边旭明,赵宏忠,林树超,邓娟,黄晓杰,彭文武 《新型聚酰亚胺湿度传感器的研制》PDF+DOC1997年第03期 刘海宗,郭作军 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC1997年第05期 孙承松,周立军,李云鹏 《湿度传感器的选择和应用》PDF+DOC1989年第04期 林江,张玉泉 《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC2005年第06期 万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲 《聚酰亚胺湿敏电容的制备与性能研究》PDF+DOC2013年第01期 许梅芳,虞鑫海,吴一奇,王剑平,吉淳
  • 以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。