《基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制》PDF+DOC
作者:周文和,刘倩,王良璧,任学昌,王良辰,常青
单位:兰州交通大学
出版:《兰州交通大学学报》2009年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFLZTX2009040220
DOC编号:DOCLZTX2009040229
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以P型单晶硅为基片,聚酰亚胺为湿敏介质,钛和金为电极材料,通过氧化SiO2绝缘层、磁控溅射平板下电极和栅状上电极、涂敷湿敏介质及其亚胺化,制作了平行板电容式湿度传感元件.介绍了传感元件的制造工艺和感湿机理,测试了成品的湿敏特性,对测试结果进行了分析.结果表明本文研制的湿度传感器设计合理、性能稳定,可满足湿度测量的要求,其性能主要取决于聚酰亚胺膜的制备过程,以及栅状上电极的结构。
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