作者：王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009020070 DOC编号：DOCYBJS2009020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC2011年第03期 王伟忠,赵玉龙,林启敬 《表面微机械MEMS温度传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 刘庆海,黄见秋 《MEMS三维微触觉力传感器标定方法》PDF+DOC2010年第04期 栗大超,王和牛,傅星,胡小唐 《集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作》PDF+DOC2011年第12期 褚金奎,陈兆鹏,张然 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC2009年第04期 林启敬,赵玉龙,蒋庄德,王鑫垚,王伟忠 《基于MEMS技术的三维微力传感器》PDF+DOC2007年第06期 秦磊,李满天,孙立宁 《基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究》PDF+DOC2007年第04期 荣伟彬,王家畴,赵玉龙,陈立国,孙立宁 《一种集成三维微力传感器的微夹持器研制》PDF+DOC2007年第02期 荣伟彬,谢晖,王家畴,孙立宁,陈伟 《自感知执行器——传感器、执行器集成新概念》PDF+DOC2001年第02期 董维杰,孙宝元,崔玉国,杨志欣 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第04期 范树新,耿振亚,聂丽梅

    • 结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器。通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点。并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS，干扰误差≤0.3%FS。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC 设计了一种基于压阻效应的微机电系统(MEMS)三维微力探针传感器并对其进行了性能测试.传感器传感单元采用四梁支撑结构，接触探针采用台阶式石英光纤，使传感器的抗干扰能力和灵敏度得到了显著的提高.设计了传感器的过载保护单元，传感器整体尺寸为4 mm&#215；4 mm&#215；16 m......
    2. 《表面微机械MEMS温度传感器研究》PDF+DOC 提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器，其基本原理是：由于材料热膨胀系数的差异，复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲，进而影响压阻单元中的应力分布，压阻变化通过惠斯登电桥读出，由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器，这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传......
    3. 《MEMS三维微触觉力传感器标定方法》PDF+DOC 针对一种微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)三维微触觉力传感器，采用悬臂梁弯曲变形获得了标准微小力信号，通过测量传感器敏感梁弹性导致的传感器测杆的微小位移量，对标定过程中的误差进行了补偿，实现了三维微触觉力传感器的精确标定.建立了MEMS三维微触觉力......
    4. 《集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作》PDF+DOC 由于SU-8胶的弹性模量比硅的低，在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数，因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺，并进行了传感器性能测试。实验结果表明：设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有......
    5. 《基于探针形式的三维硅微力传感器》PDF+DOC 为满足三维微力测量的需求，以MEMS体硅压阻工艺技术为基础，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁，支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式，在4mm&#215；4mm的硅基半导体芯......
    6. 《基于MEMS技术的三维微力传感器》PDF+DOC 开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器，传感器为完全对称结构，由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成。每根硅梁上设计了一个利用MEMS工艺制作的惠斯通电桥，该种电桥应变系数大，在很大程度上简化了电桥处理电路的设计。在弹性力学和材料力学基础上，利用SOLIDWORK软件对传感器进行了应变分......
    7. 《基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究》PDF+DOC 针对微操作过程中对微力觉信号的需求，以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺，设计了一种用于微操作的三维力传感器，建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术，实现对传感器的标定，并给出了传感器的信号处理方法。实验证明，该传感器具有耦合小......
    8. 《一种集成三维微力传感器的微夹持器研制》PDF+DOC 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此，该文提出了一种以压阻检测技术为基础，集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明，该传感器具有耦合小，测量分辨率高，线性度好的优点。传感器量程为-10~+10 mN，在x、y向的分辨率均为2.4μN，z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压......
    9. 《自感知执行器——传感器、执行器集成新概念》PDF+DOC 总结了传感器与执行器集成的两种方式 ，即结构集成和功能集成。功能集成就是自感知执行器。如果待测信号能从执行器的控制信号中分离出来 ，理论上讲基于电磁耦合和机电耦合等可逆效应的换能器都可作自感知执行器。重点分析了压电材料作自感知执行器的物理基础。基于应变速度电桥电路制成了压电陶瓷自感知执行器 ，实验表......
    10. 《MEMS压阻式加速度传感器的研究进展》PDF+DOC 介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理，分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。