作者：刘丽,张彤,王连元,田云霞,范会涛 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2009年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2009060150 DOC编号：DOCGNCQ2009060159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种新型的共平面微结构气体传感器，利用MEMS技术制作了传感器样品。实验测得该传感器对于体积分数为50&#215；10-6CO气体的灵敏度为8.6(R0/R)，功耗为82mW，响应时间约5s，恢复时间约22s，该传感器的灵敏度是同种敏感材料烧结型传感器(测体积分数50&#215；10-6CO气体)的2.5倍，而功耗却是同种敏感材料烧结型传感器的1/2，是一种具备了体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、便于与其它器件集成等特点，而且制作工艺简单，成本较低的微结构CO气体传感器。

    📙 相关资料

    1. 《一种新型宽氧阈低功耗氢气传感器系统的研制》PDF+DOC 设计开发了一种基于MEMS技术的多通道氢气传感器系统，利用LabVIEW虚拟仪器平台对传感变送信号进行采集、存储、处理和数据分析。敏感材料分别选用n型半导体和p型半导体共6种掺杂金属氧化物，传感器件采用平面光刻及硅微加工工艺，集成了加热、测温及敏感等功能，功耗小于20 m W；传感器系统可实现0~1......
    2. 《检测CO气体的新型ZrO_2-MoO_3传感器》PDF+DOC 以半导体金属氧化物为基的固态气体传感器已广泛应用于还原性气体的选择性检测和计量，例如检测各种燃烧过程中的碳氢化合物、CO、H_2等。介绍了以MoO_3为基的新型CO传感器的研制。发现MoO_3厚膜样品可做为开关型检测器，而薄膜及ZrO_2-MoO_3二元混合物能用于检测环境中的CO气体浓度。添加少量......
    3. 《氧化镍薄膜气体传感器性能提升》PDF+DOC 本文的目的在于优化甲醛气体传感器。微型甲醛气体传感器设计是以石英玻璃当作基材，白金(Pt)被当作微型加热器电阻来加热感测层，并以氧化镍(NiO)薄膜作为感测层。当环境内有甲醛气体存在时，NiO薄膜层上导电度会增加，因而导致感测层电阻值降低。此微传感器，膜厚为0.34μm，在300℃反应时间只需6秒，......
    4. 《微热板阵列的热测试和热分析》PDF+DOC 集成的阵列式的微传感器是当今传感器发展的一个方向，例如广谱气体传感器，该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片，形成微热板阵列的器件形式。由于传感器需要在特定的温度条件下工作，因此需要对微热板阵列进行热性能的评估。本文针对研制中的气体传感器的2X2的微热板阵列，用红外热成像技术进行了测试和分析，获......
    5. 《气压高度表设计》PDF+DOC 介绍了一款户外登山、攀岩等运动爱好者所用便携式多功能高度计腕表，该设计除具有普通电子手表的计时和LCD显示等功能外，结合芬兰VTI公司的微型气压传感器SCP1000-D11的4种测量模式转换和气压数据与高度特别的算法，低功耗的软硬件设计使用户能随时随地查看所处位置及高度。在实际使用中获得了用户的肯定......
    6. 《单片机在CO监测与报警系统中的应用》PDF+DOC 阐述了CO监测与报警系统的硬件设计、软件设计、初始化配置、系统测试的过程，介绍了STC12C5A60S2单片机的基本原理、工作性能及其与同类产品相比较的优势，以及在CO监测与报警系统中的应用。...
    7. 《采用TGS5042传感器的CO报警器对国家计量标准JJG915的适应性》PDF+DOC 按照中国计量标准一氧化碳检测报警器检定规程JJG915-1996的评定项目，对日本费加罗公司生产的TGS5042电化学式一氧化碳传感器进行了评价试验。通过对传感器的试验数据处理，计算使用该传感器制作成报警器的性能，从而判断采用TGS5042传感器的一氧化碳报警器对JJG915的适应性。对报警动作值、......
    8. 《传感器技术和市场发展趋势》PDF+DOC 传感器的范围和传感器市场范围传感器经常作为自动化产品的一部分，以元件、器件、部件等形式出现在市场上，所以传感器的范围不是很明确。但由于它的功能独特且不可或缺，很受人们重视。...
    9. 《CCS800系列低功耗微型环境传感器》PDF+DOC CCS800系列可用于检测乙醇和诸如一氧化碳等有害气体，以及包括甲醛在内的多种挥发性有机化合物，并且采用了超小型SMD封装来提供上述功能。公司获专利保护的CMOS MEMS微型热平板技术为CCS800系列提供了一种独特的芯片平台，在实现传感器小型化的同时，可显著降低功耗，同时实现超快稳定时间和响应时......
    10. 《调制式光电智能检测技术在煤炭开采中的应用》PDF+DOC 调制式光电智能甲烷气体传感器采用谐波检测的方法对矿井下甲烷气体体积分数进行检测，结果显示其灵敏度高，稳定性强，损失率低，具有非常好的实用性。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。