作者：贾晓娟,张斌珍,刘俊,薛晨阳,侯婷婷,谭振新,王杰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010020100 DOC编号：DOCCGJS2010020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • PHEMT结构一种高电子迁移率晶体管，以其高频和低噪声等方面的优越性，成为当今微电子领域中最活跃的研究主题之一。将其良好的力敏特性应用在加速度计方面更是成为前沿的研究方向。基于GaAs基PHEMT结构压阻效应，设计加工出一种悬臂梁式微加速度传感器，通过力作用在加速度计上，改变PHEMT结构漏极电流的输出，并通过外围测试电路来检测该电流变化，从而实现力电转换。文中，对其基本原理和结构设计进行阐述，并进行力学特性的研究。结果表明，在动态测试下，PHEMT结构的漏极输出电流与栅压、漏压之间的关系与静态测试I-V特性曲线保持一致。该加速度计具有良好的线性特性，经过测试在饱和区灵敏度为0.177 mV/gn。

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